供貨周期 | 一個月以上 | 應用領域 | 農業,能源,印刷包裝,航天,電氣 |
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RLD10平面鏡干涉儀
平面鏡干涉儀適用于XY平臺應用。
參考價 | 面議 |
更新時間:2020-06-12 11:07:11瀏覽次數:642
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平面鏡干涉儀適用于XY平臺應用。
RLD10發射頭內含有干涉鏡組、*的多通道條紋檢測系統、激光光閘和內置的激光準直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發射頭型號。
軸行程 | 0 m至1 m |
分辨率(使用RLU配置) | 模擬正交 = λ/4 (158 nm) |
系統非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/sec且信號強度 > 70%時 <±2.5 nm 1 m/sec且信號強度 > 50%時 <±7.5 nm |
速度 | 可達1 m/sec |
對于非真空應用,為了維持變動環境條件下的精度,需要某種形式的折射率補償。雷尼紹提供RCU10實時方波補償系統,用于對環境變化進行補償。
若選用RPI20并行接口并集成到RLE系統中,可達到38.6皮米的分辨率。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號,并提供并行輸出格式。有關附件的詳細信息,請參見RCU10補償系統和激光尺接口。
英國雷尼紹RLD10平面鏡干涉儀
英國雷尼紹RLD10平面鏡干涉儀