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英國雷尼紹RLD10平面鏡干涉儀

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  • 型號
  • 品牌 RENISHAW/英國雷尼紹
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 青島市
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更新時間:2020-06-12 11:07:11瀏覽次數:642

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產品簡介

供貨周期 一個月以上 應用領域 農業,能源,印刷包裝,航天,電氣
英國雷尼紹RLD10平面鏡干涉儀
RLD10平面鏡干涉儀
平面鏡干涉儀適用于XY平臺應用。

詳細介紹

RLD10平面鏡干涉儀

平面鏡干涉儀適用于XY平臺應用。

RLD10發射頭內含有干涉鏡組、*的多通道條紋檢測系統、激光光閘和內置的激光準直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發射頭型號。

特性與優點

  • 雙軸解決方案 — 雙軸平面鏡系統是XY平臺應用的理想解決方案。
  • 高分辨率 — 與角錐反射鏡系統相比,平面鏡系統還可用于要求更高分辨率的應用。
  • 敏感環境 — 還提供低功率型號的平面鏡干涉儀發射頭。適合其功耗要求低于標準RLD額定值(即 < 2 W)的應用。

RLD發射頭和鏡組

規格 

軸行程 0 m至1 m
分辨率(使用RLU配置)

模擬正交 = λ/4 (158 nm)
數字正交 = 10 nm
RPI20分辨率 = 38.6 pm

系統非線性誤差* (SDE)

*不含接口

低于50 mm/sec且信號強度 > 70%時 <±2.5 nm
1 m/sec且信號強度 > 50%時 <±7.5 nm
速度可達1 m/sec 


對于非真空應用,為了維持變動環境條件下的精度,需要某種形式的折射率補償。雷尼紹提供RCU10實時方波補償系統,用于對環境變化進行補償。

若選用RPI20并行接口并集成到RLE系統中,可達到38.6皮米的分辨率。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號,并提供并行輸出格式。有關附件的詳細信息,請參見RCU10補償系統和激光尺接口。

 

英國雷尼紹RLD10平面鏡干涉儀

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