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| 供貨周期 | 一個月以上 |
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產品簡介
詳細介紹
線性ECR寬波束離子源
模塊化EC/L XXX離子源
關鍵的設計特性
基于簡單、緊湊的微波耦合的無燈絲源
永磁體使用電子回旋共振(ECR)
法蘭安裝配置
功能陶瓷維護方便快捷
特殊的電網絕緣調節系統
優勢
適用全惰性氣體、氧氣等活性氣體
柵網系統有不同的形狀和材料
長達2米的工作模塊
少的維護和超長壽命,維修周期超過300h
均勻離子流超過總長度的百分之六十五尺寸/型號
技術規范
參數 | EC/L600 |
類型 | 法蘭安裝射頻激勵離子源 多孔徑提取柵網 |
源材料 | 放電管：Al2O3 柵網：C 微波天線的真空分離：二氧化硅杯 永磁體：NdFeB 外殼：不銹鋼 磁屏蔽：鍍鎳鋼 |
柵網類型 | 2柵網或3柵網系統 2種不同焦距的標準系統 |
型號 | 深度：標準110 mm（可調為250 mm） 235 mm x 675 mm（無法蘭） |
重量 | 約75kg |
法蘭 | 帶O形密封圈的非標準矩形法蘭 340 mm x 775 mm |
微波電源 | 每個模塊在2.45 GHz時約125-400 W |
離子電流 | 1 A（取決于柵網類型和運行條件） |
離子 | 100 到 2000 eV |
加速電壓 | 0 –1000 V |
過程氣體 | 惰性氣體，N2（無限制） O2和含鹵素氣體（柵極壽命縮短） |
氣流流量 | 5-20sccm 接頭：1/8“Swagelock（空氣和真空） |
冷卻水 | 1.5 l/min |
電連接 | 6 mm Swagelock |