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產品簡介
詳細介紹
可調ECR離子源
圖1 EC/A125
技術規范
ECR離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現象使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置。在離子源內，等離子體運動軌跡是一條螺旋線。當電磁場的頻率ω等于回旋頻率ωc時，電子會發生共振吸收，此時電子對微波電場產生很強的吸收(提高幾個數量級），獲得巨大的電子會撞擊原子產生新的電子，而電離出的電子很快也會發生回旋共振，撞擊原子產生更多的電子，從而使得真空室內等離子體可以達到很高的濃度。電子回旋共振不但讓電子獲得大幅增加，而且使得電子和原子碰撞的幾率大大增加，這使得等離子體的濃度得到很大提高。
1. EC125可調離子源用于外部法蘭安裝，使用簡單、緊湊的微波耦合的無燈絲源，配備特殊電網絕緣調節系統，在交變電場與永磁體的靜磁場的作用下，等離子體在真空室內部發生產生電子回旋共振(ECR)。
2. EC125可調離子源使用功能陶瓷，維護方便快捷，工作壽命長（超過300小時），所有的惰性氣體以及氧氣等活性氣體均可適用于離子源，柵網系統有多種形狀與材料，并擁有全方向節點機械調整系統（每個方向10 grd），方便實現工藝適應。
技術規范
圖2 帶有PBN的 EC/A125
表1
參數 | EC/A125 | EC/F125 |
類型 | 法蘭安裝可調射頻ECR離子源 多孔徑提取柵網 | 法蘭安裝射頻ECR離子源 多孔徑提取柵網 |
源材料 | 放電管：Al2O3 柵網：C或Mo 微波天線的真空分離：二氧化硅杯 永磁體：NdFeB 外殼：不銹鋼 磁屏蔽：鍍鎳鋼 | |
柵網類型 | 2柵網或3柵網系統 2種不同焦距的標準系統 | |
型號 | 插入深度：280 mm（無PBN） 直徑：220 mm（無PBN） | 插入深度：135 mm（不帶PBN） 直徑：220 mm（無PBN） |
重量 | 14.5kg | 11.5kg |
法蘭 | DN 250 | DN200 |
微波電源 | ~125 to 400 W at 2.45 GHz | |
離子電流 | 180 mA（取決于電網類型和運行條件） | |
離子 | 100 到 2000 eV | |
加速電壓 | 0 –1000 V | |
過程氣體 | 惰性氣體，N2（無限制） O2和含鹵素氣體（柵極壽命縮短） | |
氣流流量 | 5-20sccm 接頭：1/8“Swagelock（空氣和真空） | |
冷卻水 | 1.5 l/min | |
接頭 | 6 mm Swagelock | |
