電子顯微鏡是利用聚焦的電子束與樣品中的原子相互作用,從而產生超高放大倍率的圖像,可以突破光學顯微鏡的分辨率極限,實現納米級別的觀察。可廣泛應用于半導體制造、新能源、材料科學、生命科學、地球科學等應用領域中。
聚焦離子束鎵離子束掃描電鏡DB500產品優勢:
高壓隧道技術和無漏磁物鏡的電子鏡筒,高分辨率成像,兼容磁性樣品
“承影”離子鏡筒,高穩定、高質量的離子束流,用于高質量納米加工和TEM制樣
樣品倉內壓電陶瓷驅動的機械手,集成式控制方式,操作精準到位
自主可控,擴展性強,集成化設計的離子源更換時間快,極致的售后服務,提供免費的三年質保無憂服務
場發射掃描電鏡5000X產品優勢:
超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
樣品臺減速和高壓隧道技術組合的雙減速技術,挑戰極限樣品拍攝場景
高精度機械優中心樣品臺、超穩定性的機架減震設計,可搭配整體罩殼設計,極大減弱環境對極限分辨率的影響
最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導體和科研應用需求
鎢燈絲掃描電鏡SEM3200產品優勢:
豐富的擴展性---SE\BSE\EDS\EBSD等
光學導航---可快速定位目標樣品和感興趣區域
*大圖拼接---可實現全自動的采圖和拼接,展示超大視野畫面
圖像混合成像(SE+BSE)---在一個圖像中觀察到樣品的成分和表面信息
雙陽極結構設計,提升了低電壓下的分辨率和成像質量
*低真空模式---在低真空下提供樣品表面細節和形貌,軟件一鍵切換真空狀態
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