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更新時間:2020-04-28 14:09:16瀏覽次數:1199
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日本雅馬拓等離子清洗機 YSP
日本雅馬拓等離子清洗機 PDC
日本雅馬拓等離子清洗機V100
日本雅馬拓等離子清洗機 YSP600U2KU
樣品傳輸系統為模塊式,便于組合用途● 提高各種材料的粘接性、表面改質處理● 清洗各類基板。● 電子部品、材料表面改質。● 去除有機物和自然氧化膜。特點● 體積小,節省空間。● 選用小型腔體,反應效率高。● 更容易嵌入生產線使用。● 可通過操作面板自由切換等離子模式。● 配備冷卻反應臺。日本雅馬拓等離子清洗機 YSP600U2KU內槽
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日本雅馬拓等離子清洗機 YSP600U2KU技術規格
型號
YSP600U
YSP2KU
模式
RIE(DP模式選購)
高頻輸功率
600W
2000W
反應臺尺寸
W300×D300mm
W600×D600mm
反應氣體
2進氣系統(氧氣、氬氣)
反應氣體流量控制
質量流量控制器
氣體導入口
反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
=
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