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美國honeywell氣體質量流量傳感器產品描述：
該傳感器具有基于*微結構技術的*硅芯片。它由一個薄膜，熱隔離的橋式結構組成，該結構包含加熱器和溫度感應元件。橋結構能夠快速靈敏地響應流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件雙面的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。
專門設計的外殼可精地引導和控制穿過微結構傳感元件的氣流。封裝的機械設計能夠輕松地將其安裝在印刷電路板上。
激光微調的厚膜和薄膜電阻器可在一臺設備與另一臺設備之間提供一致的互換性。這些電阻呈現懸浮狀態，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。微橋氣體質量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。
通過蝕刻流量傳感器橋下的空腔空間，可實現加熱器和感應電阻的高效，熱隔離。
雙惠斯通電橋控制氣流測量-一個提供閉環加熱器控制，另一個包含雙重傳感元件。
加熱器電路將加熱器溫度保持在高于環境空氣溫度的恒定差（160°C）的恒定差（160°C）處，該溫度由熱量感測到。芯片上的沉電阻。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應。
未放大的版本需要加熱器控制電路和感測電橋供電電路才能按照規范進行操作。差分放大器電路在提供輸出增益和/或向傳感器輸出引入電壓偏移時可能會很有用。放大版本的板上電路可用于增加輸出增益并引入電壓偏移。（有關更多電路信息，請參見產品數據表和安裝說明。）
美國honeywell氣體質量流量傳感器技術規格：
| 系列名稱 | AWM40000 |
| 流量/壓力范圍 | + 1000 SCCM |
| 整個溫度范圍內的零位 | 大±0.025 Vdc |
| 可重復性 | 大讀數的±0.50％ |
| 響應時間 | 典型值1 ms，短期3 ms |
| 接口類型 | 岐管 |
| 實力 | 大60兆瓦 |
| 補償溫度范圍 | 不適用 |
| 介質兼容性 | 僅干燥氣體 |
| 沖擊 | 100 g前端（5次下降，6軸） |
| 備注 | 氮校準氣體 |
| UNSPSC商品 | 41111931流量傳感器 |
| 信號調節 | 放大 |
| 調整點的輸出電壓 | 1000 SCCM時5 Vdc±0.15 Vdc |
| 輸出溫漂 | -5.0％大讀數 至+ 6.0％讀數大值 |
| 零位 | 1伏直流電±0.05伏直流電 |
| 電源電壓 | 小8.000 Vdc，大15.000 Vdc |
| 共模壓力 | 150磅/平方英寸 |
| 工作溫度 | -25°C至85°C [-13°F至185°F] |
| 儲存溫度 | -40°C至90°C [-40°F至194°F] |
| 重量 | 17.5克[0.62盎司] |
| 貨源 | |
| UNSPSC代碼 | 41111931 |
honeywell傳感器產品特色
精密硅微機械加工
對0.1 SCCM至6 SLPM的低流量敏感
適用于較高流量
低功耗允許用于便攜式設備和電池供電的應用
模擬輸出
標準的2.54毫米[0.10英寸]安裝中心
激光修正達到可互換性
準確檢測低壓
AWM43300V傳感器應用領域:
加熱，通風和空調系統的風門控制
氣體分析儀
低真空控制
過程控制
醫用H吸機和肺活量儀
制氧機
泄漏檢測儀
通氣罩
麻醉控制
氣體計量
氣相色譜儀
更多產品詳見：honeywell傳感器
