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電廠水處理設備臭氧發生器以水為冷卻劑，冷卻水溫度以15-20℃為宜，一般要求不超過28℃。當冷卻水溫度≤32℃時，臭氧發生器可以連續工作，但30℃冷卻水的臭氧產量比15℃的額定產量低10~20%。冷卻水必須保證高水質，一般要求濁度不超過10度（NTU），硬度不超過450mg/L，氯化物不超過150mg/L，COD不超過100mg/L，懸浮物不超過10mg/L，不能在容器內沉積，有利于臭氧發生器的長期連續運行。根據現場條件，臭氧發生器的冷卻水應當根據當地采用開路或閉路循環，或者回流到水處理系統的技術，根據水質的特征，采取適當的防止結垢、防止有機沉積等措施。
電廠水處理設備臭氧發生器產生的臭氧是一種廣譜的消毒劑，具有很強的滅菌消毒作用。常溫、常壓下，臭氧分子結構不穩定，可迅速自行分解為氧（O2）和單氧原子（O），后者活性強，對細菌有很強的氧化作用，臭氧化分解細菌內葡萄糖所需的酶，破壞細胞膜，殺死細菌。
臭氧消毒以空氣為介質，不需要其它輔助材料和添加劑，原料易得、使用安全；如果想要濃度高些，可以用氧氣源臭氧發生器，具體根據各自的需求來選擇。臭氧發生器在消毒過程中會產生一定量的臭氧，在相對密封的環境，擴散均勻，包容性好，克服了紫外線滅菌中許多死角的固有特性，可以達到良好的消毒滅菌效果。配備的尾氣破壞裝置也可解決好剩余尾氣，沒有二次污染物。
