無塵室分類：

1.亂流式

空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制

程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

2. 層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。

⑵垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3. 復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。

此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

無塵室設計方案注意事項：

1.無塵車間設計內容有合理布置工藝流程和建筑平面；

2. 選擇滿足無塵車間特點的建筑構造和材料；

3. 無塵車間設計應依據當時當地的能源供應背景，選定可靠和經濟的冷、熱源；

4. 劃分和布置空調凈化和排風系統；

5. 選擇合理的空氣凈化通風設備； 無論是新建還是重新改造的無塵車間，都一定依照國家相關標準、規范進行。蕪湖無塵室凈化裝修

無塵室設計時應考慮的幾個特性：  

耐久性：  

  無塵車間要有符合環境、無塵車間內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵車間等級來建造。半導體傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質。  

清洗：   

在制藥和生物工學工業，無塵車間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或細菌的污染之特性。在市場，清洗真正地是一個重要的企業。 

適應性：  

 一些廠商認為適應性可節省一筆金錢，而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致大的損失。擁有者和設計者的能力為改變的關鍵，所以他們從不將初的設計定型。

維護性：

對無塵車間而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應各個不同區域的小房間，曾有人說：若建造之預算因某種原因被限制，除了少數的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實天花板是一個頗復雜的系統其必須嚴格地過濾粒子，故其設計必須準確，無塵潔凈室的風管系統要保證密封性, 嚴格檢測風管泄漏, 定期進行漏光測試或漏風測試, 監測法蘭或螺紋密閉性, 必要時進行焊接或密封膠處理。

無塵室的構成：

一般情況下，無塵室是指生產和檢驗所需的工作環境，對于生產環節，應包括與生產產品工藝流程相對應的功能間，如注塑間、干燥間等；對于檢驗環節，應包括與檢驗有關的功能間，如陽性對照間、無菌檢驗間和微生物限度間等；為生產服務的輔助功能間，如洗衣間、潔具間等以及連接各功能間的緩沖過渡通道。

無塵的氣流組織形式是實現潔凈環境的重要保證措施。一般氣流組織形式有非層流方式或層流方式兩種。用高度凈化的空氣把車間內產生的粉塵稀釋，叫做非層流方式（亂流方式）。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式，從側壁方向刮入清潔空氣，從對面側壁排出叫水平層流式。亂流方式由于換氣次數的變化潔凈度也隨之變化。

無塵室的氣流應滿足潔凈度和人體健康的要求，如關鍵工作操作點應位于潔凈空氣流的上風側，對散發有害物質的工作點，人的頭部應避免在其空氣流正對的下風側。應使無塵車間氣流流向單一。非單向流潔凈室（區）內設置操作臺時，其位置應遠離回風口。產品也不應擺放在回風口附近，因為回風口處的潔凈度比較差。回風口應均勻布置在潔凈室（區）的下部，高度應低于工作臺面。潔凈室（區）內有局部排風裝置時，其位置應設在工作室氣流的下風側，以免氣流短路。蕪湖無塵室凈化裝修