發那科FANUC電源模塊故障維修：

發那科FANUC電源模塊維修DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 DPG-10

ACG Series:ACG-3 ACG-3B ACG-5 ACG-6 ACG-6B ACG-10 ACG-1OB 2100L-15P 5100L 600L 601P
OEM Series:OEM-6  OEM-6A OEM-6B OEM-12   OEM-12A OEM-12A-XL OEM-12B OEM-12-B3 OEM-25A
OEM-25-XL OEM-28B OEM-50 OEM-1250 OEM-2000 TEL-7000-RF
Spectrum Series: B-1513 B-3013 B-10013 B-10002 B-5002 B-11002 B-5513Z B-10513
Supepower Series:QL-3513 QL-6513 QL-10513 QL-13013
GENESIS(GHW,GMW,GEW,VHF)Series:GHW-12 GHW-25 GHW-50 GHW-80 GHW-2527 GHW-3040
GHW-58A GHW-85A GMW-25A GMW-25Z GEW-2527 GEW-3040
NOVA Series:NOVA-25 NOVA-25A NOVA-50A
RACK Series: RACK-AM-300 OTHERS: DPGS-10 DPGD-10 LPG-6A LPG-12A PL1-HF PL2-HF PL3-HF
Quanta-10 HF-300 HF-650 HPG-2
oneBox Series: OB1-01 OB1-02 OB1-03 OB1-04 OB2 Series OB4 Series 000-1093-076(2MHZ,2.5KW)
000-1093-077(27.12MHZ,1.8KW) 000-1093-075(DUAL MATCH) 000-1134-076 000-1134-077 000-1134-077R

  專業射頻電源研發和第三方維修供應商，是國內早從事工業電源維修的企業。

服務范圍：

從事大功率射頻RF電源研發&第三方維修供應商，為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業研發和維修PVD、CVD、

PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。

發那科FANUC電源模塊故障維修服務優勢：

擁有一批專業技術人才，品牌射頻電源工程技術支持，消化吸收*技術基礎上創新發展，鍛煉培養十幾名經驗豐富的維修工程師。擁有自主開發的專業配套射頻電源測試平臺，高壓電源測試負載，直流電源測試負載，專用測試儀器設備，以及豐富的圖紙技術資料。

服務品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源，

HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流電源。

ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU。      

電源維修

專業維修半導體設備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、

射頻電源(RF Generator)、微波發生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等專業設備維修。

Thermo Chiller維修

溫度控制泵浦，設備冷卻系統，品牌有SMC，小松、大金、申和等

一、RF Generator射頻電源維修和配套直流電源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源

2、MKS ENI射頻電源/直流電源

3、DAIHEN射頻電源

4、KYOSAN射頻電源/直流電源

5、COMDEL射頻電源

6、ADTEC射頻電源

7、SEREN射頻電源

二、RF MATCH(射頻電源匹配網絡)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

三、高壓電源

1、HiTek Power supply高壓電源

2、ADVANCE HIVOLT高壓電源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高壓電源

4、GLASSMAN高壓電源

5、SPELLMAN高壓電源

6、Varian高壓電源

7、其他品牌

四、直流電源

1、LAMDBA ESS/EMI直流電源

2、Delta ELEKTRONIKA直流電源

3、SORENSEN直流電源

4、AMETEK可編程電源

5、POWER TEN直流電源

6、燈絲電源、X射線電源

7、曝光燈電源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波電源發生器

1、ASTeX AGL系列微波電源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波電源

3、ASTeX Smart Match

   六、RPSC

   MKS 2L

    MKS 3L

    MKS 6L

    MKS 8L

    MKS 15L

    MKS 22L

   七、CHILLER溫度控制泵浦

    SMC INR-341-16A

    SMC INR-498-011

    SMC INR-244-215

    SMC-INR-244-117A