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DS-2000/14G型光刻機(jī)

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品牌 其他品牌
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廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 合肥市

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更新時(shí)間：2024-06-04 13:37:21瀏覽次數(shù)：2293評價(jià)

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價(jià)格區(qū)間	面議	儀器種類	微流控芯片系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子

DS-2000/14G型光刻機(jī)該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱：DS-2000/14G型光刻機(jī)

主要技術(shù)指標(biāo)：

單次曝光面積：1.4mm×1mm;

大曝光基片：100mm ×100mm ;

對準(zhǔn)精度：±0.8μm（半自動對準(zhǔn)）;

大膠厚：300μm（SU8膠）;

自動逐場對焦；

分辨力：1μm；

X、Y、Z、θ四自由度電動位移臺 ;

X、Y平移重復(fù)定位精度：0.65μm（3σ）;

Z向運(yùn)動精度：1μm。

DS-2000/14G型光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn)：

該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準(zhǔn)系統(tǒng)（可同時(shí)使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設(shè)定采用微機(jī)控制，菜單界面友好，操作簡便。

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