測量

范圍

Z軸(垂直)

640μm (-320μm~320μm) / 25200μin (-12600μin~+12600μin)

X軸(水平)

17.5mm（0.69 inch）

分辨率

Z軸

（垂直）

0.002μm/±20μm

0.004μm/±40μm

0.008μm/±80μm

0.020μm/±160μm

0.040um/±320um

測量

項目

參數

Ra  Rz  Rq  Rt  Rc  Rp  Rv  R3z  R3y  Rz(JIS)  Ry  Rs  Rsk  Rku  Rmax  Rsm   Rmr  RPc  Rk  Rpk  Rvk  Mr1  Mr2

標準

ISO4287國際標準；ANSI B46.1美國標準；

DIN4768德國標準；JIS B601日本標準

圖形

支承率曲線，粗糙度 原始輪廓，濾波波形

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n    n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

觸針測力：4mN；導頭測力：<400mN

導頭

硬質合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s    lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,   Vt=1mm/s        返回      Vt=1mm/s

示值精度

0.001μm

示值誤差

±(5nm+0.1A)         A:多刻線樣板參數Ra的標準值

示值重復性（變動性）

不大于3%

殘余輪廓

不大于0.010μm

電源及充電電壓

3600mAh鋰離子電池，

主機外形尺寸

155×145×58mm

驅動器外形尺寸

23×27×115mm

支架可調高度

40mm

重量

約1000g

工作環境

溫度：- 20℃ ~  40℃     濕度：< 90% RH

儲存運輸環境

溫度：- 40℃  ~   60℃   濕度：< 90% RH

可選配件

磁性表座、表座連接塊、高度尺、高度尺連接塊，曲面傳感器、小孔傳感器、深槽傳感器、極小孔傳感器、延長桿、轉接桿、微型打印機、200mm測量平臺、300mm大理石測量平臺，數傳處理軟件，手機APP