目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>CVD及PECVD系統(tǒng)>>CBD/PECVD系統(tǒng)>> 微型PECVD系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2016-04-07 13:27:21瀏覽次數(shù)：2291評(píng)價(jià)
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產(chǎn)品型號(hào) | 微型PECVD系統(tǒng) |
主要特點(diǎn) | 1、加熱圈套有石英罩，以減小熱量損失。 2、樣品可置于加圈內(nèi)，以達(dá)到更好的加熱效率和溫度均勻性。 3、采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。 4、設(shè)有一滑動(dòng)法蘭安裝于移動(dòng)加上，以便于樣品的放入和取出。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 等離子源 1、等離子體射頻電源：110/220V 50/60Hz <100W 2、輸出頻率：13.56MHz 3、射頻功率：7.2W、10.5W、18W三檔，可調(diào)節(jié) 4、腔體尺寸：外徑Φ76.2mm×內(nèi)徑Φ68.58mm×長(zhǎng)406.4mm 5、加熱圈：電源220V，zui大功率500W，外徑Φ50mm×內(nèi)徑Φ40mm×70mm，并套有內(nèi)徑Φ50.8mm× Φ75mm的石英罩 6、法蘭：Φ3″不銹鋼法蘭，設(shè)有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥 7、通入氣體：可通入多種惰性氣體，如N2、Ar，不可通入易燃易爆性氣體 8、真空度：10-2torr（機(jī)械泵） |
兩通道混氣系統(tǒng) 1、浮子流量計(jì)：10-100ml/min，2個(gè) 2、針閥：304不銹鋼針閥，3個(gè) 3、壓力表：-0.1-1.0MPa（0.01MPa/grid），3個(gè) | |
真空泵 1、抽氣速率：120L/min 2、接口：KF-25 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 1、尺寸：等離子源216mm×254mm×203mm，控制盒102mm×254mm×203mm，兩通道混氣系統(tǒng)340mm× 300mm×180mm，移動(dòng)架600mm×600mm×1250mm 2、重量：32kg |
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