產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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儀器種類 | 管式爐 | 應用領域 | 環保,化工,能源 |
產品簡介
詳細介紹
CVD系統 由供氣系統+雙管管式爐+抽氣系統 ,最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統是由3路供氣系統+TL1200雙管管式爐+低真空系統組成
單溫區四通道可調真空快速升溫雙管爐是一種特殊的CVD系統,是專門為在金屬箔(像銅箔、鋁箔等)上生長薄膜而設計,廣泛應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究上,特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。這款雙管式爐以進口電阻絲康泰爾(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。
單溫區四通道可調真空快速升溫雙管爐爐底安裝一對滑軌,可用手推滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/min。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。