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產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地無錫市
更新時間:2024-05-27 13:43:42瀏覽次數(shù):257次
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韓國ATOVAC壓力計 MPG1000 MPG2000全新
韓國ATOVAC壓力計 MPG1000 MPG2000全新
韓國ATOVAC公司成立于1997年10月,開始開發(fā)半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的氣體和真空控制系統(tǒng)、測量等主要部件。我們一直專注于氣體和真空控制,這是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的核心。
分享供應(yīng)韓國Atovac系列進(jìn)口產(chǎn)品,Atovac控制器、Atovac微量燃料電池、Atovac真空計、Atovac節(jié)流閥、Atovac MFC 箱面板和氣流系統(tǒng)
ATV1000 Throttle Valve
韓國Atovac ATV1000 Throttle Valve節(jié)流閥
ATV1000 排氣節(jié)流閥是閉環(huán)下游壓力控制系統(tǒng)中的三個組件之一。
當(dāng)與數(shù)字 PID 控制器(例如 GPC3000 控制器和電容壓力計)結(jié)合使用時,ATV1000 閥門可提供快速、可重復(fù)的設(shè)定點控制。
CM 壓力表感測腔室壓力,然后將其與壓力控制器中所需的設(shè)定點壓力進(jìn)行比較
■ ATV1000(節(jié)流閥)旨在通過安裝高速電機(jī)顯著縮短達(dá)到設(shè)定點的時間,從而提高設(shè)備的吞吐量。
■ ATV1000(節(jié)流閥)可與Atovac GPC3000控制器連接使用,也可連接使用其他公司產(chǎn)品的控制器。
■ ATV1000(節(jié)流閥)的設(shè)計使用戶可以從外部檢查擋板的位置,從而無需將其從設(shè)備上拆下即可檢查閥門的操作。
■ ATV1000(節(jié)流閥)的法蘭形式一般采用ISO-NW,但根據(jù)客戶要求也可采用CF、ASA、JIS 等法蘭形式。
速度(打開到關(guān)閉) | 1.5秒 |
解決 | 1/24000 |
驅(qū)動方式 | 直接齒輪傳動 |
閥體最高工作溫度 | 標(biāo)準(zhǔn)0-100 可選:0 - 150(注1) |
閥門電機(jī)環(huán)境 工作溫度 | -20 至 +40 |
不同的壓力 跨閥 | 1 個大氣壓。最大 (15psig) |
軸封處外部泄漏 | 1x10-8 秒/秒 He |
暴露于工藝中的材料 | 標(biāo)準(zhǔn):304 SS、氟橡膠(注 2) 可選:316 SS、氟橡膠(注 2) |
兼容控制器 | 型號GPC3000 MKS 651、1651 型 |
驅(qū)動輸出扭矩 (使用型號 GPC3000 或 MKS 651 型) | 800 英寸盎司 |
閉漏 (帶有擋板 O 形圈的閥門) | <10-7(托升/秒)> |
法蘭樣式: ISO-NW 作為一個 CF 他 肯佛法 | 筆記: 1. 由軸封和擋板密封 O 形圈材料組成。 2. 如果使用Vition,則可以使用其他材料。 聯(lián)系應(yīng)用工程。
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