TESCAN VEGA COMPACT 是 TESCAN 第四 代掃描電鏡中的一員，是一款微型鴇燈絲掃描電子 顯微鏡，為滿足實驗室基本分析需求，優化了成像 和成分分析功能，簡化了配置，是一款的 入門級高效分析型掃描電鏡。

       TESCAN VEGA COMPACT升級使用了全新 的Essence™專用電鏡軟件，在單個窗口中就可以 實現SEM成像和實時元素分析，更大程度簡化了從 樣品上獲取形貌和元素數據的過程，使得 VEGA COMPACT能夠更快速有效地完成大量樣品 的基礎檢測，使之成為經濟高效的多功能分析工具。

       四透鏡設計

       Wide Field Optics™設計，可提供多種工作模 式和顯示模式；專有的中間鏡(IML),采用電磁 的方式改變物鏡光闌一一中間鏡的作用如同連續可 調的光闌，無需任何機械對中的鏡筒設計，使光路 合軸和校準*自動化；中間鏡帶來的實時電子束 追蹤技術(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和 優化電子束的束斑、束流；3D電子束技術(3D Beam Technology)可獲得實時立體成像。

 • SE 分辨率：3 nm @ 30 kV

 •  8 nm @ 3 kV

•  強大的低倍性能，為樣品的全景觀察和定位 提供了便利

•  新穎的EssenceTM操作軟件，操作者可以依 照喜好自定義界面，方便直觀

•  新穎的EssenceTM三維演示功能，保證了樣 品運動時樣品室內探測器的安全

•  *集成的Essence™ EDS功能，可以快 速，輕松地從成像切換到元素分析操作

1. 樣品全貌的大視野圖像

2. 樣品局部圖像

3. SE高分辨圖像

4. BSE高分辨圖像