LED顯微曝光系統

介紹：

1)顯微鏡 LED曝光系統 UTA系列，為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設備。

2)使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機，即可在涂布光阻的基板上進行數個微米 分辨率的曝光。

3)Pattern 形狀可以使用計算機繪圖自由制作。

4)可在一般環境操作，樣品外觀及尺寸限制小，價格比一般電子束曝光機更便宜、方便性更高，可以降低研發成本。

LED顯微曝光系統

使用案例：

√形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量測用試料之電極。

√Mo 原石取出薄片，形成原石特性評估的電極。

特色：

1、使用顯微鏡和 DLP 組合之曝光系統，可比既有系統擁有更具性價比。

2、軟件操作簡便，可以自由繪制曝光Pattern。

3、透過物鏡倍率選擇，調整曝光范圍大小與分辨率。

4、可以制造微米等級尺寸的 Pattern 。