目錄:上海激譜光電有限公司>>線性平移臺>>直接驅(qū)動線性電機(jī)位移臺>> ILS-LM 系列中檔行程線性電機(jī)動平移臺
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
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價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
型號 | |||
ILS100LM-S | ILS200LM-S | ILS300LM-S | |
行程范圍 | 100 mm | 200 mm | 300 mm |
最小位移增量 | 10 nm | 10 nm | 10 nm |
最大速度 | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s |
連續(xù)運(yùn)動力 | 20 N | 20 N | 20 N |
峰值驅(qū)動力 | 72 N | 72 N | 72 N |
中心負(fù)載能力 | 250 N | 250 N | 250 N |
精度,典型值 | ±0.5 µm | ±1.0 µm | ±1.2 µm |
精度,保證值 | ±1.5 µm | ±2.0 µm | ±2.5 µm |
雙向重復(fù)精度,典型值 | ±0.12 µm | ±0.12 µm | ±0.12 µm |
雙向重復(fù)精度,保證值 | ±0.30 µm | ±0.30 µm | ±0.30 µm |
俯仰,典型值 | ±20 µrad | ±40 µrad | ±40 µrad |
俯仰,保證值 | ±110 µrad | ±135 µrad | ±150 µrad |
俯仰順應(yīng)性 | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm |
偏擺,典型值 | ±15 µrad | ±25 µrad | ±25 µrad |
偏擺,保證值 | ±100 µrad | ±125 µrad | ±150 µrad |
偏擺順應(yīng)性 | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm |
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性 | 15 µrad/Nm | 15 µrad/Nm | 15 µrad/Nm |
螺紋類型 1 | 2001-4-20 | 2001-4-20 | 2001-4-20 |
重量 | 2.9 kg | 3.7 kg | 4.5 kg |
M- 版本使用 M6 螺紋安裝孔
ILS-LM采用居中,高效的三相同步無鐵線性電機(jī)作為驅(qū)動元件。 該驅(qū)動系統(tǒng)無噪音,可提供更高的速度,加速度和系統(tǒng)響應(yīng)速度,而不會因電刷或驅(qū)動螺釘而引起磨損。 而且,ILS-LM比同類的螺桿驅(qū)動平臺短150毫米以上。 這是解決對于需要高吞吐量,高可靠性和靜音操作的空間受限應(yīng)用的最佳方案。
ILS Series stages are available with the following motors:
●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.
●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.
●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.
ILS-CC (DC Motor) | ILS-BPP (Stepper Motor) | ILS-LM (Linear Motor) | |
Travel Range (mm) | 50 / 100 / 150 / 200 / 250 | 50 / 100 / 150 / 200 / 250 | 100 / 200 / 300 |
Maximum Speed (mm/s) | 100 | 50 | 500 |
Minimum Incremental Motion (nm) | 1000 | 1000 | 10 |
Uni-directional Repeatability, Guaranteed (µm) | ±0.5 | ±0.5 | |
Bi-directional Repeatability Guaranteed (µm) | ±1.00 | ±1.0 | ±0.3 |
Accuracy, Guaranteed (µm) | ±1.5 / ±2.0 / ±2.5 / ±3.75 / ±5.0 | ±1.5 / ±2.0 / ±2.5 / ±3.75 / ±5.0 | ±1.5 / ±2.0 / ±2.5 |
有限元法(FEM)用于優(yōu)化ILS-LM工作臺鋁制車身的結(jié)構(gòu)設(shè)計,從而實(shí)現(xiàn)較高的剛度并在不影響重量的情況下將雙金屬彎曲降至很低。 剛體減少了負(fù)載下的撓曲,從而在鋁制載物臺設(shè)計中實(shí)現(xiàn)了最高的性能。 還提供經(jīng)FEM優(yōu)化的 IMS-LM 位移臺,行程更長,負(fù)載能力更高 和更大的移動平臺。
借助精確的線性軌跡,循環(huán)滾珠軸承滑軌可提供優(yōu)異的有效載荷和更長的使用壽命。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問題,該問題通常出現(xiàn)在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。
精確的位置反饋由安裝在平臺上的非常可重復(fù)的線性標(biāo)尺提供。 編碼器信號由Newport的 XPS 運(yùn)動控制器內(nèi)插,具有納米分辨率,可提供出色的位置靈敏度,可重復(fù)性和穩(wěn)定性。 以相同的比例合并原始位置,避免使用其他電子設(shè)備或機(jī)械來提高可靠性和準(zhǔn)確性。
ILS-LM位移臺使用電動行程終端和橡膠緩沖器硬限位器,以在行駛結(jié)束時盡可能平穩(wěn)地停止滑架。 保險杠允許的超程為3.5毫米,與Newport XPS 一起使用時 控制器,不允許任何超出行程范圍的命令運(yùn)動。
對于關(guān)鍵的定位應(yīng)用,Newport 提供微定位校準(zhǔn)服務(wù)。當(dāng)我們的 XPS 高級運(yùn)動控制系統(tǒng)發(fā)出指令時,我們將創(chuàng)建、實(shí)施和驗(yàn)證電子補(bǔ)償過程,從而提高 Newport ILS-LM 平移臺的絕對位置精度。此外,還可以使用多軸微定位校準(zhǔn)服務(wù)。 測試在20.0±0.2℃下進(jìn)行。 您的平移臺將提供校準(zhǔn)證書,也可根據(jù)要求提供實(shí)際數(shù)據(jù)。
Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。
Compatible motion controllers for these linear motor driven stages are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires XPS-DRV02 Driver Module, XPS-DK26 Cable Kit and E5820A Encoder Adapter.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module, XPS-DK26 Cable Kit and E5820A Encoder Adapter.
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