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One-XY 中行程集成 XY 線性平移臺產(chǎn)品規(guī)格

型號
	ONE-XY60	ONE-XY100	ONE-XY200	ONE-XY300
電動軸	XY	XY	XY	XY
行程范圍	50 mm	90 mm	190 mm	290 mm
最大速度	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s
最小位移增量	50 nm	50 nm	50 nm	50 nm
最大加速度	0.3 G	0.3 G	0.2 G	0.2 G
連續(xù)運動力	10 N	10 N	20 N	53 N
峰值驅(qū)動力	21 N	21 N	42 N	107 N
中心負載能力	100 N	120 N	150 N	350 N
精度，典型值	±0.4 µm	±0.5 µm
精度，保證值 1	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.0 µm
雙向重復精度，典型值	±0.040 µm	±0.040 µm
平面度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±2.0 µm	±3.0 µm
直線度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±2.0 µm	±3.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad
俯仰，保證值	±55 µrad	±65 µrad	±75 µrad	±90 µrad
偏擺，典型值	±15 µrad	±25 µrad
偏擺，保證值	±55 µrad	±65 µrad	±75 µrad	±90 µrad
滾轉(zhuǎn)，典型值	±29 µrad	±29 µrad	±36 µrad	±24 µrad
正交性 2	96 µrad	96 µrad	96 µrad	96 µrad
原點重復精度	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m
寬度	125 mm	184 mm	275 mm	500 mm
重量	2.9 kg	5.8 kg	12 kg	75 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注釋:

高精度（HA）版本可供選擇。在安裝表面上方 50 毫米處，位移臺中心線上測量的規(guī)格。 Newport 提供 NIST 可追溯的測試結(jié)果。

1. 對于ONE-XY-HA 版本，保證精度有所不同。

2. 對于ONE-XY-HA 版本，垂直度降低到 5 µrad。

One-XY 中行程集成 XY 線性平移臺特征

剛度增強

為實現(xiàn)更好的穩(wěn)定性，交叉滾子軸承的寬間隔和厚中間板確保可針對懸臂負載提供更高的剛度。

微米級平直度和平整度

由于 ONE-XY 精密的表面處理和交叉滾子軸承，它實現(xiàn)了微米級的平直度和平整度。

無鐵心線性電機

高效率，無鐵心線性電機具有更高的速度、加速度和系統(tǒng)響應性的優(yōu)點，而不會磨損電機電刷或驅(qū)動螺桿，從而顯著減少發(fā)熱量。此外，無鐵心線性電機的非齒槽特性確保了出色的速度穩(wěn)定性。無鐵心電機不僅可以提供這些優(yōu)點，還能實現(xiàn)高產(chǎn)量和高可靠性。

集成的 X 軸 和 Y 軸

ONE-XY 最顯著的特點是其 3 板設計，同時允許在 X 和 Y 方向上移動，且比堆疊平移臺更薄。設計中內(nèi)置有正交性，因此提高了 XY 精度。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these linear motor driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis