FUJI富士工業(yè)  CMP化學產(chǎn)品用多組分濃度計 FUD-1 Model-53

FUJI富士工業(yè)  CMP化學產(chǎn)品用多組分濃度計 FUD-1 Model-53

多組分濃度計特點
可以實時測量三種成分中兩種的濃度模擬DC4-20mA（2線）和數(shù)字RS232C是標準設(shè)備。
標準配備測量誤差輸出和報警輸出
標準配備自診斷功能和錯誤信息顯示
小型、輕量的單元型發(fā)射器可以直接安裝在生產(chǎn)線上。

優(yōu)點
可實現(xiàn)高精度連續(xù)測量
免維護，無需定期調(diào)整或校準
安裝方便，安裝過程中無需進行各種調(diào)整
通過實時輸出輕松反饋流程

目的
CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度管理等。
清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）
蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等）

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化學品：SHINETSU 信越化學、THREEBOND 三鍵、TOAGOSEI 東亞合成、三井化學MITSUI、KONISHI小西、

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新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機