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UV臭氧清洗是通過照射能量比作為污染物的有機化合物的結合能更強的紫外線來分解有機化合物的清洗方法。
在大氣（含氧的環境氣體）中，通過紫外線照射產生臭氧（O3）和激發態活性氧（O）。
活性氧具有的氧化能力，會立即與未結合的有機化合物發生氧化反應。這會產生簡單的分子，如 CO2、H2O 和 O2，它們從表面蒸發，同時去除（清潔）有機物質。
與使用清洗液的濕式清洗不同，UV臭氧清洗可以減少對環境的影響，并且不會像使用放電的等離子清洗那樣對工件造成熱量或靜電損壞，具有以下特點。
