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TORAY東麗氧氣分析儀半導體用LC-450A
TORAY東麗氧氣分析儀半導體用LC-450A
氧氣分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
能夠同時測量多達 8 個點
顯示從 ppm 級到 100% 的廣泛濃度范圍
安裝在半導體制造設備、真空設備等中。
直插式傳感器 （NW 16/25/40 真空法蘭）
傳感器采用特殊涂層，耐用性更強
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 | ||
|---|---|---|---|
| 類型 | 分離型（轉換器：壁掛式;傳感器：直接插入式） | ||
| 顯示系統 | 4 位數字顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動系列 | ||
| 重復性 | 滿量程的 ±0.5% 以內;范圍 0-1% 或更高 在滿量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以內，以較大者為準;范圍小于 0-1 % 濃度在 0-1 ppm 之間，大氣壓范圍不在保修期內。 | ||
| 測量點數量 | 1~8 | ||
| 樣氣要求 | 壓力 | 10-3至 200KPa（絕對壓力） | |
| 流量 | 0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min（在自然分散狀態下測量） | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0 至 100°C | ||
| 別人 | 不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機硅的氣體、易燃物質（包括氣體）、油或濕氣 | ||
| 參比氣體 | 大氣層 | ||
| 記錄器輸出 | 僅傳輸輸出 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C 系列 | ||
| 警報輸出 | 沒有 | ||
| 預熱時間 | 6 分鐘或更短 | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92 mm （W） ×44 mm （H）×120 mm （D）（不包括突出部分） | |
| MS-510（轉換器） | 100 mm （W） × 40 mm （H）×88 mm （D）（不包括突出部分） | ||
| 傳感器單元 | SD16NW型 | 全長 100mm（傳感器 ? 11×39，機身 ? 40×51） | |
| SD25NW型 | 全長 100mm（傳感器 ? 11×42，機身 ? 40×48） | ||
| SD40NW 系列 | 全長 100mm（傳感器 ? 11×41，機身 ? 40×49） | ||
| 重量 | MS-500（控制器） | 約 0.6 kg | |
| MS-510（轉換器） | 約 0.5 kg | ||
| 傳感器單元 | SD16NW型 | 約 0.2 kg | |
| SD25NW型 | 約 0.2 kg | ||
| SD40NW 系列 | 約 0.35 kg | ||
| 外部連接 | 任何真空法蘭（NW16、25 或 40） | ||
| 權力 | 24VDC±10% | ||
測量范圍廣
能夠顯示從 ppm 級到 100% 的廣泛濃度范圍
提高傳感器耐用性
氧傳感器上使用特殊涂層，更耐用
寬交流電源范圍 AC100~240VAC（LC-450A）
* LC-450D 使用 DC 24 V 電源
緊湊且易于安裝
比傳統設備深度短。節省空間。
符合 RoHS 規范
CE 標志符合性
聲明 EN61010-1：2002，EN61326：+A3：2003
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 | ||
|---|---|---|---|
| 類型 | 桌面型/面板安裝型 | ||
| 顯示系統 | 4 位數字顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動系列 | ||
| 重復性 | 滿量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范圍內的濃度（大氣壓）不在保修期內。 | ||
| 采樣方法 | 使用內置泵進行連續抽吸 | ||
| 樣氣要求 | 壓力 | 加壓 30 KPa 或更低 | |
| 流量 | 1,000~2,000 毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0 至 50°C | ||
| 別人 | 不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機硅的氣體、易燃物質（包括氣體）、油或濕氣 | ||
| 參比氣體 | 大氣層 | ||
| 記錄器輸出 | 氧氣濃度輸出 | 在 4-20 mA 或 0-20 mA 之間切換（0-10 V 可選）;絕緣;負載阻力為 550 Ω 或更低 記錄儀輸出范圍以滿量程表示，氧濃度以線性輸出表示 | |
| 輸出范圍 | 0-100%， 0-1000ppm， 0-100ppm， 0-10ppm 自動/固定范圍 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C 系列 | ||
| 警報輸出 | FAIL （設備錯誤） | 1 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 發生設備故障時觸點閉合（觸點操作可調） |
| ALM（濃度警報） | 2 積分 （H/L） | 無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 發生警報時觸點閉合（觸點操作可調） | |
| RDY （預熱信號） | 1 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 2 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 | |
| 預熱時間 | 5 分鐘或更短 | ||
| 尺寸 | 身體 | 210 mm （W） ×134 mm （H）×300 mm （D） （不包括突出部分） | |
| 重量 | 約 6 kg | ||
| 氣體連接 | 入口 | RC1/4 | |
| 旁通輸出 | RC1/4 | ||
| 出口 | RC1/4 | ||
| 權力 | 100 至 240 V AC，50 V A（正常條件：35 V A）50 Hz/60 Hz | ||
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 | ||
|---|---|---|---|
| 類型 | 桌面型/面板安裝型 | ||
| 顯示系統 | 4 位數字顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動系列 | ||
| 重復性 | 滿量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范圍內的濃度（大氣壓）不在保修期內。 | ||
| 采樣方法 | 使用內置泵進行連續抽吸 | ||
| 樣氣要求 | 壓力 | 加壓 30 KPa 或更低 | |
| 流量 | 1,000~2,000 毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0 至 50°C | ||
| 別人 | 不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機硅的氣體、易燃物質（包括氣體）、油或濕氣 | ||
| 參比氣體 | 大氣層 | ||
| 記錄器輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10 V 直流;絕緣;負載電阻 600 kΩ 或更高 （選項：4-20 mA DC;絕緣;負載電阻 550 Ω 或更低） 記錄儀輸出范圍以滿量程和氧氣濃度為線性輸出 | |
| 輸出范圍 | 0-100%， 0-1000ppm， 0-100ppm， 0-10ppm 自動/固定范圍 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C 系列 | ||
| 警報輸出 | FAIL （設備錯誤） | 1 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 發生設備故障時觸點閉合（觸點操作可調） |
| ALM（濃度警報） | 2 分 （L/LL） | 無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 發生警報時觸點閉合（觸點操作可調） | |
| RDY （預熱信號） | 1 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 預熱時 觸點閉合（觸點操作可調）
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 2 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 | |
| 預熱時間 | 5 分鐘或更短 | ||
| 尺寸 | 身體 | 240 mm （W） ×134 mm （H）×210 mm （D） （不包括突出部分） | |
| 重量 | 約 5 kg | ||
| 氣體連接 | 入口 | RC1/8 | |
| 旁通輸出 | RC1/8 | ||
| 出口 | RC1/8 | ||
| 權力 | 24 V DC±10%，1.25 A（正常情況下為 30 V） | ||
低濃度測量
測量范圍從 ppb 級到 100%
易于操作
通過單獨的按鍵輕松操作。
吹掃功能
通過穩定參比氣體，可以進行更寶貴的測量。（僅適用于具有吹掃功能的型號）
高可靠性傳感器
可提供防止傳感器退化的處理（可選）。
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 | ||
|---|---|---|---|
| 類型 | 桌面型/面板安裝型 | ||
| 顯示系統 | 6 位數字顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0atm 自動/固定范圍 | ||
| 重復性 | 在滿量程 的 ±1% 以內氧氣濃度低于 1 ppm 和濃度在 0-1 ppm 范圍內，大氣壓范圍不在保修期內。 | ||
| 采樣方法 | 使用內置泵進行連續抽吸 | ||
| 樣氣要求 | 壓力 | 加壓 30 KPa 或更低 | |
| 流量 | ~1,500 毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0 至 50°C | ||
| 別人 | 不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機硅的氣體、易燃物質（包括氣體）、油或濕氣 | ||
| 參比氣體 | 大氣層 | ||
| 記錄器輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20 mA/0-10 V 4-20 mA：絕緣;負載電阻 600 Ω 以下 0-10 V：絕緣;負載阻力為 500 Ω 或更高 記錄儀輸出范圍以滿量程表示，氧濃度以線性輸出表示 | |
| 輸出范圍 | 0-100%、0-10%、0-1%、0-1000 ppm、0-100 ppm、0-100 ppm、0-10 ppm、10-20-10-0或具有任意 4 個量程的自動/固定量程 | ||
| 傳輸輸出 | RS-232C 系列 | ||
| 警報輸出 | FAIL （設備錯誤） | 1 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下 發生設備故障時觸點閉合（觸點操作可調） |
| ALM（濃度警報） | 2 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下 發生警報時觸點閉合（觸點操作可調） | |
| RDY （預熱信號） | 1 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：24 V DC/AC 或更低，0.5 A 或更低 觸點在預熱期間閉合（觸點操作可調）
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 3 積分 | 無電壓觸點;觸點容量：24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下 | |
| 預熱時間 | 20 分鐘或更短 | ||
| 尺寸 | 身體 | 288 mm（寬）×144 mm（高）×400 mm（深）（不包括突出部分） | |
| 重量 | 約 10 kg | ||
| 氣體連接 | 入口 | RC1/8 | |
| 旁通輸出 | RC1/8 | ||
| 出口 | RC1/4 | ||
| 權力 | 100 至 120 V AC±10% 200 V A 50 Hz/60 Hz | ||
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