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產品簡介： 混氣系統 4 路質子 GSL-4Z 是用于控制一種到四種的氣體流經真空密封的管式爐， 這種氣體控 制系統安裝在移動架內， 管式爐可以放在移動架上面， 氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的 調節閥，可以用于 CVD 系統及退火爐，用來研究氣體環境對材料的影響，在半導體和集成電路工業、特種 材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用， 廣泛應 用于電子工藝設備， 如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉、混氣配氣系統及 其它分析儀器。
產品型號 | 混氣系統 4 路質子 GSL-4Z |
主要特點 | 精度高，運行穩定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。 |
技術參數 | 1、電源： 185-245V 50Hz 2、輸出功率： 18W 3、控制范圍： 控制器 1——0-100SCCM 、控制器 2——1-199SCCM、 控制器 3——1-199SCCM 、控制器 4——1-499SCCM |
4、壓力： 3×106 Pa 5、準確度：± 1%FS 6、線性：±0.5-1.5% 7、重復精度：±0.2%FS 8、響應時間： 氣特性 1-4s ，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼 |
9、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa | |
10、壓力表測量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） | |
11、混氣罐： ?80mm×120mm 12、截止閥： ?1/4″ ，316 不銹鋼針閥 | |
13、工作溫度： 5-45℃ | |
產品規格 | 尺寸： 600mm×600mm×650mm |
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