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產品簡介： GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據二極（DC）直流濺射原理設計而成的、 可靠、經濟的鍍膜設備。本機特別之處是在一個真空室內安裝了三個靶， 旋轉樣品臺可依次在同一樣品上 涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。
產品型號 | GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通風裝置：不需要 |
主要特點 | 1、設有真空表、濺射電流表，可實時監控工作狀態。 2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電 離氣體，以獲得鍍膜效果。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。 |
5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻 純凈。 |
6 、已通過 CE 認證。 | |||
技術參數 | 1、靶： ?45mm | ||
2、真空室： ?160mm×120mm 3、真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位： 3 個 5、電流： 50mA 6、可設定最長時間： 900s | |||
7、微型真空氣閥： 連接 ?3mm 軟管 8、電壓： 1600V DC 9、機械泵： 2L/s | |||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1 個 |
2 | 銅靶材 | 1 個 | |
3 | 鋁靶材 | 1 個 | |
4 | 進氣針閥 | 1 個 | |
5 | 保險絲 | 2 個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
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