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壓電·高速單軸掃描運動 – SD15/30.x.C

? 高速掃描運動，電容閉環傳感，超高運動分辨率

• X 方向運動范圍 15 um, 30 um；

• 外形尺寸, 62 mm x 40 mm x 13.5 mm, 80 mm x 40 mm x 13.5 mm；

• 閉環定位精度優于 0.1 nm；

• 電容位置傳感器；

• 高速運動響應；

• 支持高真空 (.HV) ，超高真空 (.UHV) 選件升級；

微納壓電掃描臺，高速掃描運動，兼容高真空——詳細參數：

微納壓電掃描臺，高速掃描運動，兼容高真空——尺寸圖：

SD15.x.C

SD30.x.C

多場科技“壓電掃描臺·緊湊型”解決方案主要包含：

S —— 掃描標準系列；

SD —— 高動態系列；

SH —— 高負載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景，支持電容閉環傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。