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OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動開啟式PECVD系統。此款成套設備配有等離子射頻電源,三路質量流量混氣系統(量程為1-100SCCM,1...
管式爐搭配質子(浮子)供氣系統真空系統和分子泵機組,形成高真空CVD系統。CVD系統管式爐是一種重要的材料制備設備,廣泛應用于大專院校、科研院所、工礦企業等實驗...
CVD系統管式爐是一種重要的材料制備設備,廣泛應用于大專院校、科研院所、工礦企業等實驗和小批量生產之中。它主要用于在固態基材上沉積一層薄膜,其組成部分包括高溫真...
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