實(shí)驗(yàn)室真空變溫電學(xué)測試平臺，外部可移動探針臂精準(zhǔn)點(diǎn)針，為真空變溫實(shí)驗(yàn)提供解決方案，同時可集成顯微鏡、光譜系統(tǒng)進(jìn)行材料表征。

┃ 設(shè)備特點(diǎn)

• 溫度范圍 -190℃～400℃，RT~1000℃

• 溫度穩(wěn)定性 ±0.05℃

• 樣品區(qū) Φ26mm

• 探針數(shù)量 4~7個

• 電學(xué)接頭 BNC 三同軸BNC 可選

• 臺面電位 電接地 三同軸 背電極 可選 探針臂行程 粗調(diào) 20mm*20mm，微調(diào) 10mm*10mm*3mm，精度＜10um

• 適配儀器 顯微鏡 光譜儀 鐵電 介電 電化學(xué)工作站 磁場 電學(xué)源表 半導(dǎo)體分析儀 DLTS