PRO Line PVD 75 薄膜沉積系統

PRO Line PVD 75™ 是基于PVD75經典款開發的新一代薄膜沉積系統。保有量超過400臺，PVD75™經典款是歷經實踐驗證的技術成熟、性能穩定、多功能設計的薄膜沉積系統。PRO Line PVD 75™ 在PVD75經典款基礎上進一步提高系統的本底真空并縮短系統的抽空時間。對工藝腔室進行優化設計，工業化設計的控制系統具有的編程功能、基片自動加載功能。

┃ 設備應用

• 專為大學、工業和政府國家實驗室等研發領域設計開發的薄膜沉積系統

• 可用于OLED/PLED和有機電子學

• 光伏和半導體應用光學和裝飾鍍膜應用小批量生產

┃ 設備特點

• 機柜及機架采用封閉式設計

• 304方箱式不銹鋼腔室，安裝有鋁門和大視角觀察窗

• 通過觸摸屏手動或程序控制，全自動計算機控制

• 可選擇渦輪分子泵或高真空低溫泵

┃ 工藝模塊

• 磁控濺射: 射頻、直流或脈沖直流濺射

• 電子束蒸發熱阻蒸發

• 有機材料蒸發

• 離子源襯底清潔或輔助沉