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PLD脈沖激光沉積系統

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具體成交價以合同協議為準

產品型號NeoceraPioneer系列

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地

更新時間:2024-11-18 15:48:13瀏覽次數:228次

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產品型號:Pioneer240、Pioneer180、Pioneer120Pioneer系列PLD系統---基于經驗的創新設計Neocera利用PLD開展了深入廣泛的研究,建立了獲得薄膜質量的臨界參數,特別適用于沉積復雜氧化物薄膜

        產品型號:Pioneer240、Pioneer180、Pioneer120 

 

        Pioneer系列 PLD系統---基于經驗的創新設計

 

        Neocera利用PLD開展了深入廣泛的研究,建立了獲得薄膜質量的臨界參數,特別適用于沉積復雜氧化物薄膜。這些思考已經應用于Pioneer系統的設計之中。

 

        很多復雜氧化物薄膜在相對高的氧壓(>100Torr)下冷卻可獲得更高的質量。所有Pioneer系統都具備此功能(壓力范圍可從額定初始壓強到大氣壓)。這也有益于納米粒子的生成。

 

        Pioneer PLD系統的激光束入射角為45°,保持了激光密度在靶材上的均勻性,同時避免使用復雜而昂貴的光學部件。更大的入射角能夠拉長靶材上的激光斑點,導致密度均勻性的損失。

 

        為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵,消除油的回流對薄膜質量的影響,所有Pioneer系統的標準配置都采用無油泵系統。

 

        我們的研究表明靶和基片的距離是獲得薄膜質量的關鍵參數。Pioneer系統可以控制靶材和基片的距離,以達到的沉積條件。

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