17710506869
當前位置:北京盈思拓科技有限公司>>薄膜、塊體樣品制備>>PLD脈沖激光沉積系統>> NeoceraPioneer系列PLD脈沖激光沉積系統
產品型號:Pioneer240、Pioneer180、Pioneer120
Pioneer系列 PLD系統---基于經驗的創新設計
Neocera利用PLD開展了深入廣泛的研究,建立了獲得薄膜質量的臨界參數,特別適用于沉積復雜氧化物薄膜。這些思考已經應用于Pioneer系統的設計之中。
很多復雜氧化物薄膜在相對高的氧壓(>100Torr)下冷卻可獲得更高的質量。所有Pioneer系統都具備此功能(壓力范圍可從額定初始壓強到大氣壓)。這也有益于納米粒子的生成。
Pioneer PLD系統的激光束入射角為45°,保持了激光密度在靶材上的均勻性,同時避免使用復雜而昂貴的光學部件。更大的入射角能夠拉長靶材上的激光斑點,導致密度均勻性的損失。
為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵,消除油的回流對薄膜質量的影響,所有Pioneer系統的標準配置都采用無油泵系統。
我們的研究表明靶和基片的距離是獲得薄膜質量的關鍵參數。Pioneer系統可以控制靶材和基片的距離,以達到的沉積條件。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業自行提供,信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責,化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示:為規避購買風險,建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。