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| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
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全新的一體化設計，具有優異的光學成像質量，方便使用的正像光學系統，是理想的檢測半導體器件的工具，支持3種激光波長，可在半導體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術。可以廣泛應用于半導體、電子、冶金等行業的制造和研究領域。
PSM-1000探針臺顯微鏡描述
● 人機工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉動，調整觀察眼點的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
● 管鏡
PSM-1000的管鏡轉盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據需要進行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優化，1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優化，當使用這3個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率。
● 光路切換拉桿
通過推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉換拉桿往外拉時，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時從攝像接口上入射的激光100%的進入光路，提高了激光效率；當轉換器拉桿往里推時，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時即可用雙目頭觀察，同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
● 偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進行偏光觀察。
● 調焦機構
PSM-1000的調焦機構轉動舒適，工作可靠。調焦機構最大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
● 轉換器
PSM-1000采用4孔可調中轉換器，使用隨機配送的調中鑰匙，可以很方便地調整物鏡的齊中。
● 物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應力平場復消色差物鏡，提供了優異的成像質量。關于物鏡的具體參數請參照APO物鏡樣本。
● 數碼攝像系統
根據所使用的CCD攝像機的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數碼攝像系統，就可以在電腦、電視或監視器上同步觀察。
● 照明系統
采用同軸垂直照明系統，光源采用外置冷光源。長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。
● 探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上，進行硅片的測試。
● 激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補償墊片。無需專用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
注:在安裝和使用激光器之前，請您仔細閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產生的安全和性能問題，麥克奧迪實業集團有限公司對此概不負責。
PSM-1000探針臺顯微鏡主要技術參數
鉸鏈式三目頭 | 圖像 | 正像 | |
瞳距 | 調節范圍 55-75mm | ||
視場直徑 | 24mm | ||
分光比 | 可通過光路切換拉桿自由切換（雙目頭：第三目=100:0或50:50） | ||
管鏡 | 1X（可對紫外及紅外線進行優化），2X | ||
激光的使用 | 拉出光路切換拉桿即可 | ||
可應用的激光 | 1064/532/355 nm NWR laser | ||
調焦機構 | 粗微調手輪 | 調焦行程：50mm；粗動手輪4mm/轉；微動手輪0.1mm/轉 | |
調焦機構最大承重量 | 20.5kg | ||
攝像接頭 | C-Mount接頭 | ||
照明系統 | 同軸垂直照明，可變孔徑光欄 | ||
冷光源(選配) | 150W冷光源照明器及工業顯微鏡光纖（2m） | ||
物鏡轉換器 | 四孔物鏡轉換器，中心可調，可拆卸 | ||
物鏡（選配） | 長工作距離平復消色差物鏡 | 2X, 5X, 10X, 20X, 50X | |
超長工作距離復消色差物鏡 | 50X, 100X | ||
可調焦長工作距離復消色差物鏡 | 2X, 5X, 10X, 20X, 50X | ||
可調焦超工作距離復消色差物鏡 | 50X, 100X | ||
NIR超長工作距離復消色差物鏡 | 20X, 50X | ||
重量 | 主體：6.8kg；冷光源照明器：2.5kg | ||
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