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INCA WAVE 波譜儀是SEM中很少采用與EPMA相同的全聚焦幾何設(shè)計的波譜儀。這意味著分辨率提高了2倍,測量更加穩(wěn)定且可重復(fù)。
WAVE是一種以其工程精度和質(zhì)量而聞名的全聚焦光譜儀。WAVE光譜儀的內(nèi)部組件(晶體、探測器和測角儀)以高精度協(xié)調(diào)運(yùn)行,以保持正確的衍射條件,且測量是可重復(fù)的。
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