TRYMAX 等離子除膠機介紹

亞科電子的合作伙伴Trymax公司于2003年在荷蘭成立，該公司主要提供半導體等離子清洗、去膠、活化設備。

Trymax目前擁有半自動、全自動系列設備供用戶選擇，目前已有上百臺設備安裝在世界各地，被廣泛地應用于MEMS微機電系統、微流體器件、SOI基片制造、良好封裝、化合物半導體器件、功率器件和光電顯示等領域。

一、設備工作原理

等離子體是物質的一種存在狀態，該狀態中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子；處于激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。

Trymax NEO Series就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，通過射頻/微波電源在一定的真空條件下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

二、Trymax NEO Series 應用

前道：Light Etching；Descum strip；PR Ashing；離子注入后，光刻后，鍍膜前等工藝過程； 后道/良好封裝/3D IC：Descum Bumping；MEMS。