Centrotherm 小批暈生產用垂直爐管CLV200,科研專屬

CLV200 小批暈生產用垂直爐管

I 適用于砫襯底的半導體集成電路的生產

是一個獨立的小批量晶圓 生產設備，能實現各項熱處理工藝，適用于少量生產及 研發。

工藝反應 腔體及加熱系統有著*的設計， 升溫至 11 00 攝氏度。由于一爐尺寸較小（一批至多 50 片晶圓）， CLV 200 爐管能提供 非常靈活的常壓及低壓工藝，降低顧客研發費用。

的設計在高效， 低耗上非常出色， 同時也具備了生產各種半導體器件的工藝靈活性。

E1200臥式熱反應系統

• 產品簡介

E1200型臥式熱反應系統是由德國centrotherm公司研制的特為研發、小批量生產用熱反應系統。具有小體積、高工藝性能等特點

可用作常壓CVD、LPCVD、PECVD、擴散、氧化、退火等工藝過程，以優良的品質、極小的體積、低成本的特點，特別適合低產量、多工藝適應性加工要求的研發或小批量生產。