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北京亞科晨旭科技有限公司
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當前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>化合物半導體-工藝設備>> IH-860DSICSiC用高溫離子注入設備 IH-860DSIC

SiC用高溫離子注入設備 IH-860DSIC

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號IH-860DSIC

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 13:40:00瀏覽次數:1515次

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產地類別 進口 價格區間 150萬-200萬
應用領域 電子
搭載了高溫ESC(靜電吸附卡盤)的面向SiC量產用的高能粒子注入裝置。

離子注入設備

SiC用高溫離子注入設備 IH-860DSIC

 搭載了高溫ESC(靜電吸附卡盤)的面向SiC量產用的高能粒子注入裝置。

產品特性 / Product characteristics

可實現自動連續高溫處理注入

1價離子可注入至350keV、2價離子可注入至700keV

       (Option:1價離子可注入至430keV、2價離子可注入至860keV)

通過Dual-End-Station(雙工位)實現高產能;

       (A系4"高溫ESC/B系3"高溫ESC、A系6"高溫ESC/B系6"常溫ESC等等,可配合客戶的希望就行規格配置)

可減輕操作員的負擔

•      緊湊式設計

可大范圍對應從試作到量產的各類需求

 

產品應用 / Product application

 對應SiC的離子注入裝置。

 

研究開發用中電流離子注入設備IMX-3500

中電流離子注入裝置IMX-3500為大能量200keV、對應大晶圓尺寸8inch的離子注入裝置,適用于大學等機構的研究開發。

 

產品特性 / Product characteristics

•       大晶圓尺寸8inch,搭載了可對應不定形基板的臺板。

離子源,除Gas source之外,另外可以使用安全方面更容易處理的B、P、As離子等固體蒸發源。

HV terminal的部分,與量產裝置是同樣的構成,可確保高信賴性。

產品應用 / Product application

 •      教育、研究開發等

 

高能對應離子注入設備SOPHI-400

大可對應至2400KeV的高能離子注入裝置。

 

產品特性 / Product characteristics

枚葉式

可對應薄片Wafer

平行Beam

產品應用 / Product application

 •       功率器件相關薄片基板工藝、IGBT工藝

可對應低速高濃度的離子注入設備SOPHI-30

低加速、高濃度對應的離子注入設備。

 

產品特性 / Product characteristics

枚葉式

可對應薄片

非質量分離機的對比優點

         1)對應低加速.高濃度的好產能離子注入設備

         2)相比過去約一半的低價

         3)相比過往設備占用面積為1/3的緊湊型設計

產品應用 / Product application

Power Device等薄片基板工藝、IGBT工藝

產品參數 / Product parameters

 • 基板尺寸:Max200mm

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