CAMTEK  自動(dòng)光學(xué)檢驗(yàn)AOI設(shè)備 三維集成電路

Camtek靈活平臺(tái)利用各種技術(shù)解決的復(fù)雜步驟3 dic發(fā)展和生產(chǎn)的需要。
我們*自動(dòng)化的2 d和3 d測(cè)量和缺陷檢測(cè)能力覆蓋的產(chǎn)業(yè)需求解決產(chǎn)業(yè)路線圖。
該系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)分析工具使過(guò)程監(jiān)控和產(chǎn)量的提高。

功能

•高容量整片腫塊2 d和3 d檢查和計(jì)量
•層厚度測(cè)量
•調(diào)整層之間
•覆蓋測(cè)量
•高分辨率CD測(cè)量
•表面相關(guān)缺陷檢查
•TSV CD測(cè)量
•通過(guò)了檢驗(yàn)
•通過(guò)揭示/指甲高度和co-planarity測(cè)量
•RDL檢驗(yàn)和計(jì)量

技術(shù)

•Camtek*的白光三角測(cè)量傳感器
•先進(jìn)的缺陷檢測(cè)和計(jì)量處理引擎
•高分辨率三維共焦傳感器
•光干涉測(cè)量技術(shù)對(duì)3 d

產(chǎn)品

Eagle-AP

Eagle-AP提供2 d和3 d檢驗(yàn)和計(jì)量在同一平臺(tái)上,同時(shí)保持*的性能和吞吐量水平。

EagleT-AP

為先進(jìn)的包裝設(shè)計(jì)市場(chǎng),EagleT-AP提供了2 d和3 d檢驗(yàn)和計(jì)量在同一平臺(tái)上,同時(shí)保持*的性能和吞吐量水平。