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寶德8712型大流量氣體質量控制器

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更新時間:2024-11-06 14:56:01瀏覽次數:773

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產品簡介

寶德8712型大流量氣體質量控制器 (MFC)適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱MEMS傳感器可以實現*速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成PI控制器,令MFC具備的控制特性。8712型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準,用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口,既提供模擬標準信號,也提供現場總線。

詳細介紹

寶德8712型大流量氣體質量控制器(MFC)適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱MEMS傳感器可以實現*速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成PI控制器,令MFC具備的控制特性。8712型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準,用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口,既提供模擬標準信號,也提供現場總線。8712型質量流量控制器適合多樣化應用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應堆、燃料電池技術或者試驗臺。憑借良好的IP防護等級,使得該款質量流量控制器尤其適合惡劣環境中的應用。

寶德8712型大流量氣體質量控制器主要特點:
標稱流量范圍:0.010 lN / min至80 lN / min
測量精度和重復性高
調控速度特別快
防護等級IP65
選配:現場總線接口

技術數據:
控制范圍:1:50
建立時間:<300秒
重復性:±0.1%F.S.
操作氣體:中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1:5 ... 15000 mlN / min2)
校準氣體:使用轉換因子操作氣體或空氣
大工作壓力:10 bar(145 psi),取決于閥的孔口
環境溫度:-10 ... + 50°C,其他要求
氣體溫度:-10 ... + 70°C(氧氣為-10 ... + 60°C)
建立時間:<3秒準確度:±1.5%o.R. ±0.3%F.S.(30分鐘預熱時間后)
額定流量值是大值,可以控制的流量值被校準,該額定流量范圍定義了可能的額定流量范圍(滿量程值)。
指數N:流量相對于1.013巴和0℃。另外還有一個指數S可用,指的是1.013巴和20°C

測量原理:
實際流量由傳感器檢測。 這根據熱原理運行,該熱原理具有提供獨立于壓力和溫度的質量流的優點。總氣流的一小部分被轉移到小的,特別設計的旁路通道whitchensures層流條件中。傳感器元件是芯片 浸入該流道的壁內。 MEMS技術生產的芯片包含一個加熱電阻器和兩個溫度傳感器(熱電堆),它們在加熱器的上游和下游對稱布置。熱電堆的差分電壓是通過流量傳感器的質量流量的度量。 校準過程實現了傳感器信號與通過設備的總流量的分配。

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