BURKERT8741型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測(cè)量（用作 MFM）或者調(diào)節(jié)（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外，測(cè)量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響。

BURKERT8741型氣體流量控制器必要時(shí)可以設(shè)置為 MFC 或者 MFM，且規(guī)定用于 büS 或者 CANopen 網(wǎng)絡(luò)中。büS 網(wǎng)絡(luò)技術(shù)以 CAN 物理層為基礎(chǔ)，Bürkert 特別為涉及多個(gè)控制回路（通過(guò)工業(yè)以太網(wǎng)或者其他現(xiàn)場(chǎng)總線加以驅(qū)動(dòng)）的應(yīng)用而對(duì)其進(jìn)行了研發(fā)。型號(hào)為 ME2X 的系統(tǒng)控制單元 (SCU, System Control Unit) 將客戶的以太網(wǎng)通信傳輸?shù)剿姓叩?büS 中，并驅(qū)動(dòng)所有相連的電子設(shè)備。 設(shè)備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，8741 型也可以集成到現(xiàn)有的 CANopen 基礎(chǔ)設(shè)施中。 BURKERT8741型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測(cè)量（用作 MFM）或者調(diào)節(jié)（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外，測(cè)量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響。可以對(duì) MFC/MFM 進(jìn)行校準(zhǔn)，使其用于測(cè)量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進(jìn)行切換。

主要特點(diǎn)：
采用 MEMS 技術(shù)直接測(cè)量流量
測(cè)量和重復(fù)精度高
反應(yīng)時(shí)間非常之短
現(xiàn)場(chǎng)總線通信基于 CANopen

技術(shù)數(shù)據(jù)：
控制范圍：1:50
建立時(shí)間：<3秒
重復(fù)性：±0.1％F.S.
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1：5 ... 15000 mlN / min2）
校準(zhǔn)氣體：使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大工作壓力：10 bar（145 psi），取決于閥的孔口
環(huán)境溫度：-10 ... + 50°C，其他要求
介質(zhì)溫度：-10 ... + 70°C（氧氣為-10 ... + 60°C）
建立時(shí)間：<3秒準(zhǔn)確度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（30分鐘預(yù)熱時(shí)間后）

測(cè)量原理：
實(shí)際流量由傳感器檢測(cè)，這根據(jù)熱原理工作，該原理具有提供獨(dú)立于壓力和溫度的質(zhì)量流量的優(yōu)點(diǎn)。總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到小的專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的旁路通道中，以確保層流條件。傳感器元件是 芯片浸入該流動(dòng)通道的壁中。采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)的芯片包含一個(gè)加熱電阻器和兩個(gè)對(duì)稱(chēng)布置在加熱器上游和下游的溫度傳感器（熱電堆）。熱電堆的差分電壓是通過(guò)流量傳感器的質(zhì)量流率的度量。校準(zhǔn)過(guò)程實(shí)現(xiàn)了傳感器信號(hào)與通過(guò)設(shè)備的總流量的分配。