311158寶德適用于氣體質量流量控制器必要時可以設置為 MFC 或者 MFM，且規定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以 CAN 物理層為基礎，Bürkert 特別為涉及多個控制回路的應用而對其進行了研發。型號為 ME2X 的系統控制單元將客戶的以太網通信傳輸到所有者的 büS 中，并驅動所有相連的電子設備。

311158寶德適用于氣體質量流量控制器必要時可以設置為 MFC 或者 MFM，且規定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以 CAN 物理層為基礎，Bürkert 特別為涉及多個控制回路（通過工業以太網或者其他現場總線加以驅動）的應用而對其進行了研發。型號為 ME2X 的系統控制單元 (SCU, System Control Unit) 將客戶的以太網通信傳輸到所有者的 büS 中，并驅動所有相連的電子設備。 設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，311158寶德適用于氣體質量流量控制器也可以集成到現有的 CANopen 基礎設施中。借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量（用作 MFM）或者調節（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準，使其用于測量/調節兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。

主要特點：
采用 MEMS 技術直接測量流量
額定流量范圍從0.010 lN / min到160 lN / min
高精度和可重復性
響應時間非常快
現場總線通信基于 CANopen

工作原理：
主通道中的層流元件產生小的壓降，這通過旁路（傳感器管）驅動與主流成比例的小流量，兩個連接在測量橋上的加熱電阻受到不銹鋼管的影響。 在零流量狀態下，橋是平衡的，但是隨著流量的增加，熱量沿流動方向傳輸，橋變得不平衡。測量的動態受到作為熱障的管壁的限制。 通過在控制器中使用合適的軟件，可以獲得適用于各種應用的響應時間（在幾秒鐘的范圍內）。對于受污染的氣體，我們建議在上游安裝過濾器元件。 這樣可以避免主流量和傳感器管子之間的分配比率的變化，以及由傳感器管壁上的沉積物引起的傳熱變化。