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升溫速率：

0～10℃/min

制冷方式：

電聲制冷或液氮制冷

樣 品 臺：

40×40 mm

樣品尺寸：

φ ＜22 mm

溫度測量：

PT100

探 針 臂：

4個

降溫時間：

30min降溫至-160℃

X   軸：

行程±5mm，精度±0.01mm

觀 察 窗：

φ26 mm

Y   軸：

行程±5mm，精度±0.01mm

位移分辨率：

10μm

Z   軸：

行程±5mm，精度±0.01mm