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德國MLase激光器MLI 1000 ARF波長193納米
MLase是紫外光醫療和工業產品供應商。自2007成立以來,MLase一直致力于開發和生產創新型高質量激光和光系統,這是高度專業化的專家團隊多年經驗的結晶。MLase AG 為客戶提供優質的產品,同時考慮到新的技術。MLase AG的質量管理符合ISO 13485:2016標準。
ARF 和 KRF 是兩種常見的激光器類型,分別代表氬氟化物激光器(ArF 激光器)和氪氟化物激光器(KrF 激光器)。它們都屬于氣體激光器的一種,使用稀有氣體和氟化物混合物作為激光介質,并且都通常在紫外光區域產生激光。
ARF 激光器(氬氟化物激光器):
- 波長:約193納米
- 工作介質:氬氟化物混合氣體
- 應用:主要應用于半導體光刻技術,用于制造集成電路芯片。
KRF 激光器(氪氟化物激光器):
- 波長:約248納米
- 工作介質:氪氟化物混合氣體
- 應用:廣泛用于激光微加工、醫療、科學研究等領域,也用于半導體光刻。
這兩種類型的激光器在波長和應用領域上略有不同,但它們都具有高能量密度、精確的波長控制和窄脈沖寬度等特點。這使它們在諸如微加工、醫學、科學研究和半導體制造等領域中得到了廣泛應用。
Mlase MLI 1000 ARF激光器
參數:ArF
波長(納米):193
最大。重復率 (Hz):1000
穩定的脈沖能量(mJ):6
穩定的脈沖功率(W):6,0
能量穩定性 (sigma, %):2
光束尺寸 (FWHM, V x H mm):6x3
光束發散(FWHM,V x H mrad):2x1
脈沖持續時間(FWHM)(ns):5-10
型號示例:
Mlase激光器MLI 500 ARF
Mlase激光器MLI 500 KRF
Mlase激光器MLI 200 KRF
Mlase激光器MLI 1000 KRF
Mlase激光器MLI 200 ARF
Mlase激光器MLI 1000 ARF
德國MLase激光器MLI 1000 ARF波長193納米
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