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PlasmaPro 80 RIE
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  • 硅 Bosch和超低溫刻蝕工藝
  • 類金剛石(DLC)沉積
  • 二氧化硅和石英刻蝕
  • 用特殊配置的PlasmaPro FA設(shè)備進(jìn)行失效分析的干法刻蝕解剖工藝,可處理封裝好的芯片, 裸晶片,以及200mm晶圓
  • 用于高亮度LED生產(chǎn)的硬掩模的刻蝕
RIE of InP waveguide

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7 μm polyimide feature RIE

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