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目錄:牛津儀器(上海)有限公司>>RIE Etching>> PlasmaPro 800 RIE

PlasmaPro 800 RIE
  • PlasmaPro 800 RIE
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更新時間：2022-11-30 17:51:41瀏覽次數：171評價

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PlasmaPro 800系列是結構緊湊、且使用方便的直開式系統，該系統為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應離子蝕刻（RIE）工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶圓平臺能夠處理量產級別的批量以及300mm晶圓的工藝。 詢價 增加到詢價列表 在詢價列表中查看此產品

PlasmaPro 800具有460mm直徑的工作臺，擁有處理整片的300mm晶圓或批量43 x 50mm（2”）晶圓的能力， 可提供全套量產解決方案。PlasmaPro 800是的市場前列產品。

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